Revisiting particle dynamics in HiPIMS discharges. II. Plasma pulse effects

• 資料種別: 記事
• タイトル: Revisiting particle dynamics in HiPIMS discharges. II. Plasma pulse effects
• 著者標目: Jaroslav Hnilica; https://orcid.org/0000-0002-5021-2664; Peter Klein; https://orcid.org/0000-0002-4995-3756; Petr Vašina; Rony Snyders; Nikolay Britun; https://orcid.org/0000-0003-4488-8016
• 出版年月日等: 2020-07-28
• 出版年（W3CDTF）: 2020-07-28
• タイトル（掲載誌）: Journal of Applied Physics
• 巻号年月日等（掲載誌）: 128 4
• 掲載巻: 128
• 掲載号: 4
• 掲載ページ: 043304-
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2020-07-28
• ISSN（掲載誌）: 00218979
• 出版事項（掲載誌）: AIP Publishing
• 対象利用者: 一般
• DOI: 10.1063/5.0009380
• 作成日（W3CDTF）: 2020-07-28
• 関連情報（URI）: https://pubs.aip.org/aip/jap/article-pdf/doi/10.1063/5.0009380/15250770/043304_1_online.pdf
• 参照: Delayed Discharge Bridging Two Sputtering Modes from Modulated Pulsed Power Magnetron Sputtering (MPPMS) to Deep Oscillation Magnetron Sputtering (DOMS); https://cir.nii.ac.jp/crid/1360857593805107840
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research; https://cir.nii.ac.jp/
• 提供元機関・データベース: Crossref; https://www.crossref.org

• 要約等: <jats:p>A detailed experimental study of high power impulse magnetron sputtering discharges is performed using time-resolved ground state density mapp...