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Chemical Vapor Deposition of Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>Thin Films on Si Substrates

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Chemical Vapor Deposition of Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>Thin Films on Si Substrates

資料種別
記事
著者
-
出版者
Korean Chemical Society
出版年
2002-02-20
資料形態
デジタル
掲載誌名
Bulletin of the Korean Chemical Society 23 2
掲載ページ
p.225-228
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デジタル

資料種別
記事
出版年月日等
2002-02-20
出版年(W3CDTF)
2002-02-20
タイトル(掲載誌)
Bulletin of the Korean Chemical Society
巻号年月日等(掲載誌)
23 2
掲載巻
23
掲載号
2
掲載ページ
225-228
掲載年月日(W3CDTF)
2002-02-20