Actinic detection and signal characterization of multilayer defects on EUV mask blanks

• 資料種別: 記事
• タイトル: Actinic detection and signal characterization of multilayer defects on EUV mask blanks
• 著者標目: Yoshihiro Tezuka; Masaaki Ito; Tsuneo Terasawa; Toshihisa Tomie
• 出版年月日等: 2004-12-06
• 出版年（W3CDTF）: 2004-12-06
• 寄与者: Wolfgang Staud; J. Tracy Weed
• タイトル（掲載誌）: SPIE Proceedings
• 巻号年月日等（掲載誌）: 5567
• 掲載巻: 5567
• 掲載ページ: 791-
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2004-12-06
• ISSN（掲載誌）: 0277786X
• 出版事項（掲載誌）: SPIE
• 対象利用者: 一般
• DOI: 10.1117/12.568379
• 作成日（W3CDTF）: 2004-12-09
• 参照: Actinic Mask Blank Inspection and Signal Analysis for Detecting Phase Defects Down to 1.5 nm in Height; https://cir.nii.ac.jp/crid/1360566396808200192; Characterization of small phase defects using a micro-coherent extreme ultraviolet scatterometry microscope; https://cir.nii.ac.jp/crid/1360566399842894208; 極端紫外線リソグラフィ技術の概要; https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204646386432; Sensitivity-Limiting Factors of at-Wavelength Extreme Ultraviolet Lithography Mask Blank Inspection; https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572358629841024
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research; https://cir.nii.ac.jp/
• 提供元機関・データベース: Crossref; https://www.crossref.org