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Optical beam deflection noncontact atomic force microscope optimized with three-dimensional beam adjustment mechanism

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Optical beam deflection noncontact atomic force microscope optimized with three-dimensional beam adjustment mechanism

資料種別
記事
著者
Kousuke Yokoyamaほか
出版者
AIP Publishing
出版年
2000-01-01
資料形態
デジタル
掲載誌名
Review of Scientific Instruments 71 1
掲載ページ
p.128-132
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資料詳細

要約等:

<jats:p>We present a design and performance of an optical beam deflection noncontact atomic force microscope (nc–AFM). The optical deflection detectio...

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デジタル

資料種別
記事
出版年月日等
2000-01-01
出版年(W3CDTF)
2000-01-01
タイトル(掲載誌)
Review of Scientific Instruments
巻号年月日等(掲載誌)
71 1
掲載巻
71
掲載号
1
掲載ページ
128-132