大気圧プラズマ酸化によるAlOx/SiO2/Siスタック構造の形成と評価

資料詳細

要約等：: 結晶Si太陽電池の更なる高効率化に向けて、変換効率低減の要因である表面再結合を抑制する表面パッシベーション技術が重要である。p形Si表面のパッシベーション膜として、負の固定電荷を有することからAlOxが注目を集めている。本報では大気圧プラズマ酸化によってAlOx</s...

全国の図書館の所蔵

国立国会図書館サーチが連携している各図書館等から取得した所蔵情報を表示します。

所蔵館、利用可否等の詳細・最新状況は情報提供元の各館のサイト・データベースで直接ご確認ください。所蔵館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください。詳細はヘルプをご覧ください。

その他

CiNii Research
検索サービス
デジタル
遷移先のサイトで、CiNii Researchが連携している機関・データベースの所蔵状況を確認できます。
この本の所蔵を確認

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

資料種別: 記事
タイトル: 大気圧プラズマ酸化によるAlOx/SiO2/Siスタック構造の形成と評価
著者標目: 藤原裕平
金谷優樹
山田高寛
大参宏昌
垣内弘章
安武潔
出版年月日等: 2014
出版年（W3CDTF）: 2014
タイトル（掲載誌）: 精密工学会学術講演会講演論文集
巻号年月日等（掲載誌）: 2014S 0
掲載巻: 2014S
掲載号: 0
掲載ページ: 565-566
掲載年月日（W3CDTF）: 2014
出版事項（掲載誌）: The Japan Society for Precision Engineering
本文の言語コード: jpn
件名標目: 太陽電池
solar cell
対象利用者: 一般
DOI: 10.11522/pscjspe.2014s.0_565
https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014s.0_565
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
https://cir.nii.ac.jp/
提供元機関・データベース: Japan Link Center
https://japanlinkcenter.org/top
CiNii Articles
NII論文ID: 130005479059