サファイア上AlN緩衝層のN2-COアニールとMOVPE法によるAlN成長
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- 資料種別
- 記事
- 出版年月日等
- 2014-03-03
- 出版年（W3CDTF）
- 2014-03-03
- タイトル（掲載誌）
- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 2014.1 0
- 掲載巻
- 2014.1
- 掲載号
- 0
- 掲載ページ
- 204-204