固相陽極溶解を利用したAgエッチングによる微細パターン形成とその応用

• 資料種別: 記事
• タイトル: 固相陽極溶解を利用したAgエッチングによる微細パターン形成とその応用
• 著者標目: 箱崎 太志; 藤井 達也; 辻 淳喜; 村田 順二
• 出版年月日等: 2025-03-05
• 出版年（W3CDTF）: 2025-03-05
• タイトル（掲載誌）: 精密工学会学術講演会講演論文集
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2025S 0
• 掲載巻: 2025S
• 掲載号: 0
• 掲載ページ: 389-389
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2025-03-05
• 出版事項（掲載誌）: The Japan Society for Precision Engineering
• 本文の言語コード: ja
• 件名標目: 銀; 微細パターニング; 高分子電解質膜; エッチング; 銀ナノめっき; Ag; micropatterning; Polymer Electrolyte Membrane; etching; Ag nano plating
• 対象利用者: 一般
• イベントの日付、場所: 2025年度精密工学会春季大会
• DOI: 10.11522/pscjspe.2025s.0_389; https://doi.org/10.11522/pscjspe.2025s.0_389
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research; https://cir.nii.ac.jp/
• 提供元機関・データベース: Japan Link Center; https://japanlinkcenter.org/top

• 要約等: <p>Agの微細パターンは透明導電膜や局在表面プラズモン共鳴を利用したSERS基板などに用いられている．従来の加工方法であるフォトリソグラフィやナノインプリントは薬液を使用するため，環境負荷が大きいことや加工工程が多いことが課題となっている．本研究では薬液を使用せず，高分子電解質膜を用いた固相陽極溶...