光触媒励起を用いた金属微小構造創成に関する基礎的研究(第2報)

• 資料種別: 記事
• タイトル: 光触媒励起を用いた金属微小構造創成に関する基礎的研究(第2報)
• 著者標目: 奥野 将樹; 麻生 匡; 高橋 哲; 高増 潔
• 出版年月日等: 2005
• 出版年（W3CDTF）: 2005
• 並列タイトル等: サブマイクロメートル周期構造の創成
• タイトル（掲載誌）: 精密工学会学術講演会講演論文集
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2005A 0
• 掲載巻: 2005A
• 掲載号: 0
• 掲載ページ: 941-942
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2005
• 出版事項（掲載誌）: The Japan Society for Precision Engineering
• 件名標目: photocatalyst; fabrication of metallic microstructure; micro process; 光触媒; 金属微小構造創成; マイクロ加工
• 対象利用者: 一般
• DOI: 10.11522/pscjspe.2005a.0.941.0
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research; https://cir.nii.ac.jp/
• 提供元機関・データベース: Japan Link Center; https://japanlinkcenter.org/top; CiNii Articles
• NII論文ID: 130004657251

• 要約等: 本研究は,サブマイクロメートル以下の加工単位を持つ新しい微小加工技術として,光触媒と金属イオンを用いた微小構造創成の開発を目的としている.紫外レーザーの2光束干渉によって,硝酸銀水溶液中の銀イオンが光触媒基板上に微小周期構造が創成される.第2報では加工の分解能と自由度の更なる向上を試み,その結果創成...