27aWD-12 シリコン表面からの低速原子線照射誘起イオン脱離の観測(27aWD 表面界面ダイナミクス,領域9(表面・界面,結晶成長分野))
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- 資料種別
- 記事
- 出版年月日等
- 2002
- 出版年（W3CDTF）
- 2002
- タイトル（掲載誌）
- 日本物理学会講演概要集
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 57.1.4 0
- 掲載巻
- 57.1.4
- 掲載号
- 0
- 掲載ページ
- 864-