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Imprint of Oriented Pb(Zr, Ti)O<sub> 3</sub> Thin Films with Oxygen Atmosphere in Cooling Process

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Imprint of Oriented Pb(Zr, Ti)O<sub> 3</sub> Thin Films with Oxygen Atmosphere in Cooling Process

資料種別
記事
著者
Lee Hee–Sooほか
出版者
The Japan Society of Applied Physics
出版年
1998
資料形態
デジタル
掲載誌名
Japanese Journal of Applied Physics 37 10
掲載ページ
p.5630-5633
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資料詳細

要約等:

Imprint properties of reactively sputtered Pb(Zr, Ti)O<SUB>3</SUB> [PZT] thin films were studied as a function of oxygen pressure during cooling after...

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デジタル

資料種別
記事
出版年月日等
1998
出版年(W3CDTF)
1998
タイトル(掲載誌)
Japanese Journal of Applied Physics
巻号年月日等(掲載誌)
37 10
掲載巻
37
掲載号
10
掲載ページ
5630-5633