Effects of GaAs - Surface Roughness on the Electron - Beam Patterning Characteristics of a Surface - Oxide Layer

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資料種別: 記事
タイトル: Effects of GaAs - Surface Roughness on the Electron - Beam Patterning Characteristics of a Surface - Oxide Layer
著者標目: ISHIKAWA Tomonori
TANAKA Nobuyuki
LOPEZ Maximo
MATSUYAMA Isamu
出版年月日等: 1995-05-01
出版年（W3CDTF）: 1995-05-01
タイトル（掲載誌）: Japanese journal of applied physics. Pt. 2, Letters
巻号年月日等（掲載誌）: 35 5
掲載巻: 35
掲載号: 5
掲載ページ: L619-L622
掲載年月日（W3CDTF）: 1995-05-01
ISSN（掲載誌）: 00214922
出版事項（掲載誌）: 社団法人応用物理学会
本文の言語コード: en
件名標目: GaAs oxide
surface roughness
nanostructure
in situ EB lithography
MBE
EB-patterning
Cl_2 gas etching
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
https://cir.nii.ac.jp/
提供元機関・データベース: CiNii Articles
NII論文ID: 110003925119