電子線励起超音波信号による非破壊・内部観察

• 資料種別: 記事
• タイトル: 電子線励起超音波信号による非破壊・内部観察
• 著者標目: 香川 恵一; 中尾 一郎; 竹野下 寛
• 出版年月日等: 1993-12-09
• 出版年（W3CDTF）: 1993-12-09
• タイトル（掲載誌）: 電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス
• 巻号年月日等（掲載誌）: 93 368
• 掲載巻: 93
• 掲載号: 368
• 掲載ページ: 75-81
• 掲載年月日（W3CDTF）: 1993-12-09
• 出版事項（掲載誌）: 一般社団法人電子情報通信学会
• 本文の言語コード: ja
• 件名標目: 電子線超音波顕微; 断続電子線照射; 超音波信号; 非破壊・内部観察; MOSLSI; EAM; SEM; EBIC; nondestructive intenal observation
• 対象利用者: 一般
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research; https://cir.nii.ac.jp/
• 提供元機関・データベース: CiNii Articles
• NII論文ID: 110003309976

• 要約等: 電子線超音波顕微鏡(Electron-Acoustic Microscopy)は、断続電子線照射により励起された超音波信号を用いた非破壊・内部観察が可能な観察方法として、提案されている。我々のEAMは、通常のSEMに、電子線断続装置と、断続電子線照射により励起され伝播された超音波信号を検出する超音波...