Preamorphization of the Channel Region of MOS Devices for Shallow Counter Doping

掲載誌名: Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials 1995

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資料種別: 記事
タイトル: Preamorphization of the Channel Region of MOS Devices for Shallow Counter Doping
著者標目: MIYAKE Masayasu
OKAZAKI Yukio
KOBAYASHI Toshio
出版年月日等: 1995-08-21
出版年（W3CDTF）: 1995-08-21
タイトル（掲載誌）: Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials
巻号年月日等（掲載誌）: 1995
掲載巻: 1995
掲載ページ: 908-910
掲載年月日（W3CDTF）: 1995-08-21
本文の言語コード: en
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
https://cir.nii.ac.jp/
提供元機関・データベース: CiNii Articles
NII論文ID: 10017203588