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水素雰囲気中加熱・急冷法によるシリコン中の格子間シリコン原子の研究

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水素雰囲気中加熱・急冷法によるシリコン中の格子間シリコン原子の研究

資料種別
図書
著者
末澤正志研究代表者
出版者
[末澤正志]
出版年
1999.3
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料種別
図書
タイトルよみ
スイソ フンイキ チュウ カネツ・キュウレイホウ ニヨル シリコン チュウ ノ コウシ カン シリコン ゲンシ ノ ケンキュウ
著者・編者
末澤正志研究代表者
著者標目
末澤, 正志 スエザワ, マサシ
出版事項
出版年月日等
1999.3
出版年(W3CDTF)
1999
大きさ
30cm
並列タイトル等
平成9-10年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号09450004)