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基準認証研究開発事業(MEMSデバイス機構材料の寿命加速試験法、並びにその特性評価試験用校正試料の標準化)成果報告書

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基準認証研究開発事業(MEMSデバイス機構材料の寿命加速試験法、並びにその特性評価試験用校正試料の標準化)成果報告書

資料種別
図書
著者
マイクロマシンセンター
出版者
マイクロマシンセンター
出版年
2007.3
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
530
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資料に関する注記

一般注記:

平成18年度経済産業省委託事業成果文献あり

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資料種別
図書
タイトルよみ
キジュン ニンショウ ケンキュウ カイハツ ジギョウ MEMS デバイス キコウ ザイリョウ ノ ジュミョウ カソク シケンホウ ナラビニ ソノ トクセイ ヒョウカ シケンヨウ コウセイ シリョウ ノ ヒョウジュンカ セイカ ホウコクショ
出版年月日等
2007.3
出版年(W3CDTF)
2007
大きさ
30cm
出版地(国名コード)
ja
本文の言語コード
ja