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水素を利用したシリコン中の高温点欠陥研究及び二次欠陥フリー単結晶育成法の開発

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水素を利用したシリコン中の高温点欠陥研究及び二次欠陥フリー単結晶育成法の開発

資料種別
図書
著者
末澤正志研究代表者
出版者
[末澤正志]
出版年
2001.3
資料形態
ページ数・大きさ等
31cm
NDC
-
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資料種別
図書
タイトルよみ
スイソ オ リヨウ シタ シリコンチュウ ノ コウオンテン ケッカン ケンキュウ オヨビ ニジ ケッカン フリー タンケッショウ イクセイホウ ノ カイハツ
著者・編者
末澤正志研究代表者
著者標目
末澤, 正志 スエザワ, マサシ
出版事項
出版年月日等
2001.3
出版年(W3CDTF)
2001
大きさ
31cm
並列タイトル等
平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号11450001)