雑誌電気学会研究会資料 EDD
Volume number2020(1-35):2020.1.23・24
Articlec面サファイアおよび...

c面サファイアおよびSi(111)基板上への六方晶BN薄膜のCVD成長 (電子デバイス研究会 ディスプレイに関する技術全般 LCD(バックライトを含む),PDP,有機/無機EL,CRT,FED,VFD,LEDなどのディスプレイ,並びに照明などの光源に関するデバイス,部品・材料及び応用技術、並びに評価全般)

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c面サファイアおよびSi(111)基板上への六方晶BN薄膜のCVD成長

(電子デバイス研究会 ディスプレイに関する技術全般 LCD(バックライトを含む),PDP,有機/無機EL,CRT,FED,VFD,LEDなどのディスプレイ,並びに照明などの光源に関するデバイス,部品・材料及び応用技術、並びに評価全般)

Call No. (NDL)
Z43-225
Bibliographic ID of National Diet Library
030250874
Material type
記事
Author
名嘉眞 朝泰ほか
Publisher
東京 : 電気学会
Publication date
2020-01
Material Format
Paper
Journal name
電気学会研究会資料. EDD = The papers of technical meeting on electron devices, IEE Japan / 電子デバイス研究会 [編] 2020(1-35):2020.1.23・24
Publication Page
p.1-4
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Paper

Material Type
記事
Title
c面サファイアおよびSi(111)基板上への六方晶BN薄膜のCVD成長
Author/Editor
名嘉眞 朝泰
松下 一貴
渡邊 泰良
小南 裕子
原 和彦
Series Title
電子デバイス研究会 ディスプレイに関する技術全般 LCD(バックライトを含む),PDP,有機/無機EL,CRT,FED,VFD,LEDなどのディスプレイ,並びに照明などの光源に関するデバイス,部品・材料及び応用技術、並びに評価全般
Author Heading
名嘉眞 朝泰
松下 一貴
渡邊 泰良
小南 裕子
原 和彦
Alternative Title
CVD growth of h-BN thin films on c-plane sapphire and Si (111) substrates
Periodical title
電気学会研究会資料. EDD = The papers of technical meeting on electron devices, IEE Japan / 電子デバイス研究会 [編]
No. or year of volume/issue
2020(1-35):2020.1.23・24
Volume
2020
Issue
1-35