Al Kα 線と Cr Kα 線の情報深さの違いを利用したXPS・HAXPES分析事例の紹介

• Material Type: 記事
• Title: Al Kα 線と Cr Kα 線の情報深さの違いを利用したXPS・HAXPES分析事例の紹介
• Author/Editor: 橋本 真希
• Author Heading: 橋本 真希
• Alternative Title: Case Studies of XPS and HAXPES analysis Based on the Differences in Information Depth between Al Kα and Cr Kα
• Periodical title: Journal of surface analysis / 表面分析研究会 編
• No. or year of volume/issue: 31(3):2025.3
• Volume: 31
• Issue: 3
• Pages: 249-252
• Publication date of volume/issue (W3CDTF): 2025-03
• ISSN (Periodical Title): 1341-1756
• ISSN-L (Periodical Title): 1341-1756
• Publication (Periodical Title): 東京 : 表面分析研究会
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: ZM35
• Target Audience: 一般
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Z15-B66
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 034060495; http://id.ndl.go.jp/bib/034060495
• Bibliographic Record Category (NDL): 632

• Summary, etc.: In X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS), the information depth of photoelectrons using Al Kα (energy: 1486.6 eV) is approximately 5–10 nm. In contrast, Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy (HAXPES), such as Cr Kα (5414.8 eV), which utilizes higher-energy X-rays, can extend the information depth up to about three times that of Al Kα. The deeper information depth of the Cr Kα can be used to avoid damage caused by sputtering. Additionally, combining HAXPES with angle-resolved measurements provides the chemical and elemental distributions from deeper regions. This article introduces applications of these measurement techniques using actual samples.; X線光電子分光法（XPS: X-ray Photoelectron Spectroscopy）において，一般に用いられるAl Kα線（エネルギー 1486.6 eV）で検出できる光電子の情報深さは5～10 nm程度である．一方，より高エネルギーのX線を使用した硬X線光電子分光法（HAXPES: Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy）では，Cr Kα線（5414.8 eV）を利用することで，情報深さをAl Kα線の約3倍まで拡張することが可能である．Cr Kα線のより深い情報深さを利用することで，スパッタリングによるダメージを回避することができ，さらに，HAXPESと角度分解測定の組み合わせにより，より深部の濃度分布情報を取得することができる．本稿では，これらの測定の実試料による応用事例を紹介する．
• DOI: 10.1384/jsa.31.249
• Access Restrictions: インターネット公開
• Data Provider (Database): 科学技術振興機構 : J-STAGE; http://www.jstage.jst.go.jp

• Summary, etc.: X線光電子分光法（XPS: X-ray Photoelectron Spectroscopy）において，一般に用いられるAl Kα線（エネルギー 1486.6 eV）で検出できる光電子の情報深さは5～10 nm程度である．一方，より高エネルギーのX線を使用した硬X線光電子分光法（HAXPES: Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy）では，Cr Kα線（5414.8 eV）を利用することで，情報深さをAl Kα線の約3倍まで拡張することが可能である．Cr Kα線のより深い情報深さを利用することで，スパッタリングによるダメージを回避することができ，さらに，HAXPESと角度分解測定の組み合わせにより，より深部の濃度分布情報を取得することができる．本稿では，これらの測定の実試料による応用事例を紹介する．
• DOI: 10.1384/jsa.31.249; https://doi.org/10.1384/jsa.31.249
• Related Material (URI): http://id.ndl.go.jp/bib/034060495; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I034060495; https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsa/31/3/31_249/_pdf
• Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : CiNii Research; https://cir.nii.ac.jp/
• Original Data Provider (Database): Japan Link Center; https://japanlinkcenter.org/top; 雑誌記事索引データベース; https://ndlsearch.ndl.go.jp; Crossref; https://www.crossref.org
• Bibliographic ID (NDL): 034060495; http://id.ndl.go.jp/bib/034060495