クラスターイオンビーム技術 : 蒸気化固体物質によるクラスタービームの生成と、その薄膜形成への応用

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Material Type: 博士論文
Title: クラスターイオンビーム技術 : 蒸気化固体物質によるクラスタービームの生成と、その薄膜形成への応用
Author/Editor: Usui, Hiroaki
Author Heading: Usui, Hiroaki
Publication, Distribution, etc.: Kyoto University
Publication Date: 1988-03-23
Publication Date (W3CDTF): 1988-03-23
Alternative Title: IONIZED CLUSTER BEAM TECHNIQUES: Formation of Cluster Beams by Vaporized Solid Materials and Their Applications to Film Depositions
Contributor: 高木, 俊宜
山田, 公
川端, 昭
Degree grantor/type: 京都大学
Date Granted: 1988-03-23
Dissertation Number: 甲第3986号
Degree Type: 工学博士
Text Language Code: eng
Alias of Author: 臼井, 博明
ウスイ, ヒロアキ
NDC: 500
Target Audience: 一般
DOI: 10.14989/doctor.k3986
Format (IMT): application/pdf
Source: D_Usui_Hiroaki.pdf （fulltext）
http://repository.kulib.kyoto-u.ac.jp/dspace/bitstream/2433/74708/1/D_Usui_Hiroaki.pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 京都大学 : 京都大学学術情報リポジトリ