シンクロトロン放射光照射によるAlの熱CVD反応制御に関する研究
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- シンクロトロン ホウシャコウ ショウシャ ニ ヨル Al ノ ネツ CVD ハンノウ セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 上杉文彦 [著]
- Author Heading
- 上杉, 文彦 ウエスギ, フミヒコ
- Degree grantor/type
- 大阪大学
- Date Granted
- 平成6年3月16日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1994
- Dissertation Number
- 乙第6312号
- Degree Type
- 博士 (工学)