電子線超音波顕微鏡を用いた半導体素子の非破壊・内部観察に関する基礎的研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 電子線超音波顕微鏡を用いた半導体素子の非破壊・内部観察に関する基礎的研究
• Title Transcription: デンシセン チョウオンパ ケンビキョウ オ モチイタ ハンドウタイ ソシ ノ ヒハカイ ナイブ カンサツ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
• Author/Editor: 小林睦生 [著]
• Author Heading: 小林, 睦生 コバヤシ, ムツオ
• Degree grantor/type: 大阪府立大学
• Date Granted: 平成8年1月30日
• Date Granted (W3CDTF): 1996
• Dissertation Number: 乙第859号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-96-B240
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000293167; http://id.ndl.go.jp/bib/000000293167
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 はじめに

1.2 EAMによる研究経過

1.3 目的