博士論文

機能性酸化シリコン皮膜の低温形成に関する研究

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機能性酸化シリコン皮膜の低温形成に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-97-N363
Bibliographic ID of National Diet Library
000000311447
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3126256
Material type
博士論文
Author
穂積篤 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
名古屋大学,博士 (工学)
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Notes on use

Note (General):

博士論文

Table of Contents

  • 目次

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1.本研究の背景

    p1

  • 1.2.従来研究の概要

    p4

  • 1.3.本研究の目的と構成

    p17

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title Transcription
キノウセイ サンカ シリコン ヒマク ノ テイオン ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
穂積篤 [著]
Author Heading
穂積, 篤 ホズミ, アツシ
Degree grantor/type
名古屋大学
Date Granted
平成9年3月25日
Date Granted (W3CDTF)
1997
Dissertation Number
甲第3717号
Degree Type
博士 (工学)