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博士論文

金属/Si界面のイオン照射欠陥に関する研究

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金属/Si界面のイオン照射欠陥に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-98-J350
Bibliographic ID of National Diet Library
000000321869
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3136677
Material type
博士論文
Author
小山正人 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
早稲田大学,博士 (工学)
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博士論文

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  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p3

  • 1.1 研究の背景

    p3

  • 1.2 本研究の目的と特徴

    p6

  • 1.3 本論文の構成と概要

    p6

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
金属/Si界面のイオン照射欠陥に関する研究
Title Transcription
キンゾク / Si カイメン ノ イオン ショウシャ ケッカン ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
小山正人 [著]
Author Heading
小山, 正人 コヤマ, マサト
Degree grantor/type
早稲田大学
Date Granted
平成10年3月5日
Date Granted (W3CDTF)
1998
Dissertation Number
甲第1252号
Degree Type
博士 (工学)