水分発生器を用いた極薄ゲート酸化膜形成に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 水分発生器を用いた極薄ゲート酸化膜形成に関する研究
• Title Transcription: スイブン ハッセイキ オ モチイタ ゴクウス ゲート サンカマク ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 中村修 [著]
• Author Heading: 中村, 修 ナカムラ, オサム
• Publication, Distribution, etc.: [中村修]
• Publication Date: [2000]
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 1冊
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成12年3月23日
• Date Granted (W3CDTF): 2000
• Dissertation Number: 甲第7418号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2000-S623
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000394392; http://id.ndl.go.jp/bib/000000394392
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 本研究の背景

1.2 本研究の目的

1.3 本研究の概要