アーク放電プラズマによる大面積ダイヤモンド膜合成装置の試作

• Material Type: 図書
• Title: アーク放電プラズマによる大面積ダイヤモンド膜合成装置の試作
• Title Transcription: アーク ホウデン プラズマ ニ ヨル ダイ メンセキ ダイヤモンドマク ゴウセイ ソウチ ノ シサク
• Author/Editor: 平田, 敦, 東京工業大学
• Author Heading: 平田, 敦 ヒラタ, アツシ
• Publication Date: 1992-1993
• Publication Date (W3CDTF): 1992
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 試験研究(B)
• Subject Heading: アーク放電 アークホウデン; プラズマ プラズマ; ダイヤモンド ダイヤモンド; 気相合成 キソウゴウセイ; 合成面積 ゴウセイメンセキ; 合成速度 ゴウセイソクド
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 04555033
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H04555033
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006987081; http://id.ndl.go.jp/bib/000006987081
• Bibliographic Record Category (NDL): 214