Si量子ドツト形成のための超微細LOCOSプロセスに関する研究

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Material Type: 図書
Title: Si量子ドツト形成のための超微細LOCOSプロセスに関する研究
Title Transcription: Si リョウシドツトケイセイノタメノチョウビサイ LOCOS プロセスニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 田部, 道晴, 静岡大学
Author Heading: 田部, 道晴タベ, ミチハル
Publication Date: 1995-1996
Publication Date (W3CDTF): 1995
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: シリコン窒化シリコンチツカ
シリコン量子ドツトシリコンリヨウシドツト
光電子分光コウデンシブンコウ
走査トンネル顕微鏡ソウサトンネルケンビキヨウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07455137
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H07455137
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007003111
http://id.ndl.go.jp/bib/000007003111
Bibliographic Record Category (NDL): 214