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3次元微細形状創成のための電気粘性流体援用超精密研磨法の開発に関する基礎的研究

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3次元微細形状創成のための電気粘性流体援用超精密研磨法の開発に関する基礎的研究

Call No. (NDL)
Y151-H08455066
Bibliographic ID of National Diet Library
000007011748
Material type
図書
Author
厨川, 常元, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1996-1997
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
3 ジゲン ビサイ ケイジョウ ソウセイ ノ タメ ノ デンキ ネンセイ リュウタイ エンヨウ チョウセイミツ ケンマホウ ノ カイハツ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
Author/Editor
厨川, 常元, 東北大学
Author Heading
厨川, 常元 クリヤカワ, ツネモト
Publication Date
1996-1997
Publication Date (W3CDTF)
1996
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
電気粘性流体 デンキネンセイリユウタイ
研磨 ケンマ
微小加工 ビシヨウカコウ
ER効果 ERコウカ
砥粒 トリユウ
微小工具 ビシヨウコウグ
FFF FFF