電子線超音波顕微鏡の基礎と半導体素子評価への応用

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Material Type: 図書
Title: 電子線超音波顕微鏡の基礎と半導体素子評価への応用
Title Transcription: デンシセンチョウオンパケンビキョウノキソトハンドウタイソシヒョウカヘノオウヨウ
Author/Editor: 竹野下, 寛, 大阪府立大学
Author Heading: 竹野下, 寛タケノシタ, ヒロシ
Publication Date: 1985-1986
Publication Date (W3CDTF): 1985
Extent: 冊
Subject Heading: 電子線超音波顕微鏡 (EAM) デンシセンチヨウオンパケンビキヨウ (EAM)
超音波顕微鏡チヨウオンパケンビキヨウ
走査型電子顕微鏡 (SEM) ソウサガタデンシケンビキヨウ (SEM)
超音波チヨウオンパ
半導体素子評価ハンドウタイソシヒヨウカ
EBIC EBIC
格子欠陥コウシケツカン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 60550013
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S60550013
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007024771
http://id.ndl.go.jp/bib/000007024771
Bibliographic Record Category (NDL): 214