Siウエーハ表面汚染インライン赤外診断装置の開発研究

• Material Type: 図書
• Title: Siウエーハ表面汚染インライン赤外診断装置の開発研究
• Title Transcription: Si ウエーハ ヒョウメン オセン インライン セキガイ シンダン ソウチ ノ カイハツ ケンキュウ
• Author/Editor: 庭野, 道夫, 東北大学
• Author Heading: 庭野, 道夫 ニワノ, ミチオ
• Publication Date: 1998-2000
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 半導体 ハンドウタイ; 赤外分光 セキガイブンコウ; 多重内部反射 タジユウナイブハンシヤ; 表面汚染 ヒヨウメンオセン; 有機物 ユウキブツ; インライン・モニタ インライン・モニタ; 大口径ウエーハ ダイコウケイウエーハ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10555113
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10555113
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007072079; http://id.ndl.go.jp/bib/000007072079
• Bibliographic Record Category (NDL): 214