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図書

一体型で軸間干渉率の極めて小さい2段の変位拡大てこ付きXYテーブルの開発

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一体型で軸間干渉率の極めて小さい2段の変位拡大てこ付きXYテーブルの開発

Call No. (NDL)
Y151-H12555042
Bibliographic ID of National Diet Library
000007082293
Material type
図書
Author
吉村, 靖夫, 東京工業高等専門学校
Publisher
-
Publication date
2000-2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
イッタイガタ デ ジク カン カンショウリツ ノ キワメテ チイサイ 2 ダン ノ ヘンイ カクダイテ コツキ XY テーブル ノ カイハツ
Author/Editor
吉村, 靖夫, 東京工業高等専門学校
Author Heading
著者 : 吉村, 靖夫, 1940- ヨシムラ, ヤスオ, 1940- ( 00948244 )Authorities
Publication Date
2000-2001
Publication Date (W3CDTF)
2000
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
精密位置決め セイミツイチギメ
XYテーブル XYテーブル
変位拡大てこ ヘンイカクダイテコ
軸間干渉率 ジクカンカンシヨウリツ
弾性ヒンジ ダンセイヒンジ
剛性 ゴウセイ
圧電素子 アツデンソシ
変位センサ ヘンイセンサ