ナノコンポジット基板を利用したナノデバイス作製基礎技術

Call No. (NDL): Y151-H14350362
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007548557

Material type: 図書

Author: 越崎直人, 産業技術総合研究所 [著]

Publisher: [越崎直人]

Publication date: 2002-2003

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: ナノコンポジット基板を利用したナノデバイス作製基礎技術
Title Transcription: ナノコンポジットキバンオリヨウシタナノデバイスサクセイキソギジュツ
Author/Editor: 越崎直人, 産業技術総合研究所 [著]
Author Heading: 越崎, 直人コシザキ, ナオト
産業技術総合研究所サンギョウギジュツソウゴウケンキュウジョ
Publication, Distribution, etc.: [越崎直人]
Publication Date: 2002-2003
2004.6
Publication Date (W3CDTF): 2002
2003
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: ナノコンポジット / ナノデバイス / 基板 / カーボンナノチューブ / マイクロプラズマ / 低温プロセス / 触媒 / 超臨界流体プラズマナノコンポジット / ナノデバイス / キバン / カーボンナノチューブ / マイクロプラズマ / テイオンプロセス / ショクバイ / チョウリンカイリュウタイプラズマ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14350362
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14350362
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007548557
http://id.ndl.go.jp/bib/000007548557
Bibliographic Record Category (NDL): 214