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超純水中での高速せん断流と電気化学作用を利用した超精密洗浄システムの開発

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超純水中での高速せん断流と電気化学作用を利用した超精密洗浄システムの開発

Call No. (NDL)
Y151-H14205025
Bibliographic ID of National Diet Library
000007629479
Material type
図書
Author
後藤英和, 森勇蔵, 大阪大学 [著]
Publisher
[後藤英和]
Publication date
2002-2003
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
71枚
NDC
-
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Note (General)：

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title
超純水中での高速せん断流と電気化学作用を利用した超精密洗浄システムの開発
Title Transcription
チョウジュンスイチュウ デノ コウソク センダンリュウ ト デンキ カガク サヨウ オ リヨウシタ チョウセイミツ センジョウ システム ノ カイハツ
Author/Editor
後藤英和, 森勇蔵, 大阪大学 [著]
Author Heading
後藤, 英和 ゴトウ, ヒデカズ
森, 勇蔵 モリ, ユウゾウ
大阪大学 オオサカ ダイガク
Publication, Distribution, etc.
[後藤英和]
Publication Date
2002-2003
2004.4
Publication Date (W3CDTF)
2002
2003
Extent
71枚
Additional Title
研究種目 基盤研究(A)