くし歯アクチュエータを用いた高速MEMSスイッチングミラーの作製と評価

くし歯アクチュエータを用いた高速MEMSスイッチングミラーの作製と評価

Call No. (NDL): UT51-2004-R675
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007649465

Material type: 博士論文

Author: 和田裕之 [著]

Publisher: [和田裕之]

Publication date: [2003]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 東京工業大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: くし歯アクチュエータを用いた高速MEMSスイッチングミラーの作製と評価
Title Transcription: クシバアクチュエータオモチイタコウソク MEMS スイッチングミラーノサクセイトヒョウカ
Author/Editor: 和田裕之 [著]
Author Heading: 和田, 裕之ワダ, ヒロユキ
Publication, Distribution, etc.: [和田裕之]
Publication Date: [2003]
Publication Date (W3CDTF): 2003
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東京工業大学
Date Granted: 平成15年3月31日
Date Granted (W3CDTF): 2003
Dissertation Number: 乙第3656号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2004-R675
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007649465
http://id.ndl.go.jp/bib/000007649465
Bibliographic Record Category (NDL): 213