TiN thin film growth at the nanometer-scale : toward an understanding of the initial stage of non-epitaxial growth

• Material Type: 博士論文
• Title: TiN thin film growth at the nanometer-scale : toward an understanding of the initial stage of non-epitaxial growth
• Author/Editor: Tuqiang Li [著]
• Author Heading: 李, 圖強 リ, トキヨウ
• Publication, Distribution, etc.: [Tuqiang Li]
• Publication Date: 2003
• Publication Date (W3CDTF): 2003
• Extent: 1冊
• Alternative Title: TiN薄膜のナノスケールでの成長機構 : 非エピタキシャル成長の初期過程の解明を目指して TiN ハクマク ノ ナノ スケール デノ セイチョウ キコウ : ヒエピタキシャル セイチョウ ノ ショキ カテイ ノ カイメイ オ メザシテ
• Degree grantor/type: 東京大学
• Date Granted: 平成15年9月30日
• Date Granted (W3CDTF): 2003
• Dissertation Number: 甲第18605号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• Alias of Author: Li, Tuqiang
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2005-A167
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007732892; http://id.ndl.go.jp/bib/000007732892
• Bibliographic Record Category (NDL): 213