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創立20周年・社団法人化10周年記念誌 : 創造の20年/先端技術への挑戦

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創立20周年・社団法人化10周年記念誌 : 創造の20年/先端技術への挑戦

Call No. (NDL)
YU7-H3071
Bibliographic ID of National Diet Library
000007956645
Material type
図書
Author
SEAJ創立20周年記念事業推進特別委員会 編集・制作
Publisher
日本半導体製造装置協会
Publication date
2005.9
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
135p ; 31cm
NDC
549.06
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Accompanying material:

CD-ROM1枚 (12cm)

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ソウリツ 20シュウネン シャダン ホウジンカ 10シュウネン キネンシ : ソウゾウ ノ 20ネン センタン ギジュツ エノ チョウセン
Author/Editor
SEAJ創立20周年記念事業推進特別委員会 編集・制作
Author Heading
日本半導体製造装置協会 ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ ( 00293650 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2005.9
Publication Date (W3CDTF)
2005
Extent
135p
Size
31cm