LSI電気めっきにおける数値解析およびモニタリング手法の開発

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Material Type: 博士論文
Title: LSI電気めっきにおける数値解析およびモニタリング手法の開発
Title Transcription: LSI デンキメッキニオケルスウチカイセキオヨビモニタリングシュホウノカイハツ
Author/Editor: 阿部馨督 [著]
Author Heading: 阿部, 馨督アベ, ケイスケ
Publication, Distribution, etc.: [阿部馨督]
Publication Date: [2005]
Publication Date (W3CDTF): 2005
Extent: 1冊
Alternative Title: Development of numerical simulation and monitoring method of electroplating thickness for LSI
Degree grantor/type: 東京工業大学
Date Granted: 平成17年3月26日
Date Granted (W3CDTF): 2005
Dissertation Number: 甲第6174号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2005-M783
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008038382
http://id.ndl.go.jp/bib/000008038382
Bibliographic Record Category (NDL): 213