準安定凝縮相の作り分けに用いる"高品質中性フリーラジカルビーム"の生成技術の改良

Call No. (NDL): Y151-H18540395
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009839580

Material type: 図書

Author: 林啓治, 金沢工業大学 [著]

Publisher: [林啓治]

Publication date: 2006-2007

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 準安定凝縮相の作り分けに用いる"高品質中性フリーラジカルビーム"の生成技術の改良
Title Transcription: ジュンアンテイギョウシュクソウノツクリワケニモチイル " コウヒンシツチュウセイフリーラジカルビーム " ノセイセイギジュツノカイリョウ
Author/Editor: 林啓治, 金沢工業大学 [著]
Author Heading: 林, 啓治ハヤシ, ケイジ
金沢工業大学カナザワコウギョウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [林啓治]
Publication Date: 2006-2007
2008.6
Publication Date (W3CDTF): 2006
2007
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 中性フリーラジカルビーム / 可視CWレーザー光励起 / 負イオンビーム / 表面素過程制御 / 物性シミュレーション / 化学物理 / ナノマシン / ナノデバイスプロセス開発チュウセイフリーラジカルビーム / カシ CW レーザーコウレイキ / フイオンビーム / ヒョウメンソカテイセイギョ / ブッセイシミュレーション / カガクブツリ / ナノマシン / ナノデバイスプロセスカイハツ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 18540395
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H18540395
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009839580
http://id.ndl.go.jp/bib/000009839580
Bibliographic Record Category (NDL): 214