博士論文

パワーデバイスに向けた堆積シリコン酸化膜の改質と熱シリコン酸化膜の高温信頼性

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パワーデバイスに向けた堆積シリコン酸化膜の改質と熱シリコン酸化膜の高温信頼性

Call No. (NDL)
UT51-2011-M166
Bibliographic ID of National Diet Library
023370680
Material type
博士論文
Author
染谷満 [著]
Publisher
[染谷満]
Publication date
[2011]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
筑波大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title
パワーデバイスに向けた堆積シリコン酸化膜の改質と熱シリコン酸化膜の高温信頼性
Title Transcription
パワー デバイス ニ ムケタ タイセキ シリコン サンカマク ノ カイシツ ト ネツ シリコン サンカマク ノ コウオン シンライセイ
Author/Editor
染谷満 [著]
Author Heading
染谷, 満 ソメタニ, ミツル
Publication, Distribution, etc.
[染谷満]
Publication Date
[2011]
Publication Date (W3CDTF)
2011
Extent
1冊
Degree grantor/type
筑波大学