博士論文

窒化ガリウムウェハの紫外線援用高効率・低ダメージ加工に関する研究

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窒化ガリウムウェハの紫外線援用高効率・低ダメージ加工に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2020-A49
Bibliographic ID of National Diet Library
031382487
Material type
博士論文
Author
鷹巣良史 [著]
Publisher
-
Publication date
[2019]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
東北大学,博士(工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
チッカ ガリウム ウェハ ノ シガイセン エンヨウ コウコウリツ ・ テイダメージ カコウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
鷹巣良史 [著]
Author Heading
鷹巣, 良史 タカス, ヨシフミ
Publication Date
[2019]
Publication Date (W3CDTF)
2019
Extent
1冊
Alternative Title
Ultraviolet assisted processing of gallium nitride wafer for high efficiency and low damage
Degree grantor/type
東北大学