Study on Etched Profile Control and the Surface Reaction for Organic Material Plasma Etching

• Material Type: 博士論文
• Title: Study on Etched Profile Control and the Surface Reaction for Organic Material Plasma Etching
• Author/Editor: FUKUNAGA, Yusuke; 福永, 裕介
• Author Heading: FUKUNAGA, Yusuke; 福永, 裕介
• Publication Date: 2019-03-25
• Publication Date (W3CDTF): 2019-03-25
• Alternative Title: 有機物のプラズマエッチングにおけるエッチング形状制御とその表面反応に関する研究
• Degree grantor/type: 名古屋大学
• Date Granted: 2019-03-25
• Date Granted (W3CDTF): 2019-03-25
• Dissertation Number: 甲第12767号
• Degree Type: 博士(工学)
• Conferring No. (Dissertation): 甲第12767号
• Text Language Code: eng
• Target Audience: 一般
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11300317; https://dl.ndl.go.jp/pid/11300317
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
• Acquisition Basis: 博士論文（自動収集）
• Date Accepted (W3CDTF): 2019-07-05T01:13:02+09:00
• Format (IMT): PDF; application/pdf
• Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
• Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
• Availability of remote photoduplication service: 可
• Periodical Title (URI): http://hdl.handle.net/2237/00029942; https://nagoya.repo.nii.ac.jp/records/27743
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

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2023-12-09 再収集

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