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博士論文

ワイドバンドギャップ結晶基板における内部応力と表面性状の制御に関する研究

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ワイドバンドギャップ結晶基板における内部応力と表面性状の制御に関する研究

Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/13023664
Material type
博士論文
Author
小山, 浩司ほか
Publisher
-
Publication date
2022-09
Material Format
Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東京工業大学,博士(工学)
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identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:50633850

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  • 2023-12-06 再収集

Bibliographic Record

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Digital

Material Type
博士論文
Author/Editor
小山, 浩司
Koyama, Koji
Publication Date
2022-09
Publication Date (W3CDTF)
2022-09
Degree grantor/type
東京工業大学
Date Granted
2022-09-22
Date Granted (W3CDTF)
2022-09-22
Dissertation Number
甲第12194号