Studies of Micro Optical Components Based on Si Anisotropically Etching and Molding Technology

• Material Type: 博士論文
• Title: Studies of Micro Optical Components Based on Si Anisotropically Etching and Molding Technology
• Author/Editor: 李以貴 [著]
• Author Heading: 李, 以貴 リ, イゲイ
• Publication, Distribution, etc.: [李以貴]
• Publication Date: 2001
• Publication Date (W3CDTF): 2001
• Extent: 1冊
• Alternative Title: シリコン異方性エッチングとモールド技術に基づいた微小光学部品の研究 シリコン イホウセイ エッチング ト モールド ギジュツ ニ モトズイタ ビショウ コウガク ブヒン ノ ケンキュウ
• Degree Grantor: 東北大学
• Date Granted: 平成13年3月26日
• Date Granted (W3CDTF): 2001
• Dissertation Number: 甲第7916号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2001-N695
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000409454; http://id.ndl.go.jp/bib/000000409454
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

• DOI: 10.11501/3188871; https://doi.org/10.11501/3188871
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/3188871; https://dl.ndl.go.jp/pid/3188871
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (Materials For Handicapped People:2): プレーンテキスト
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
• Producer: 国立国会図書館
• Date Accepted (W3CDTF): 2011-12-05T12:42:40+09:00
• Format (IMT): image/jp2
• Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
• Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象
• Availability of remote photoduplication service: 可
• Call No.: UT51-2001-N695
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

Table of Contents

Contents

1.Introduction

1.1.Micro-optical components

1.2.2D and 3D structure processes of micro optical components

1.3.The problems of micro optical components process