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速度可変シャッターを用いた軟X線多層膜の精密膜厚分布制御と非球面形状創成への応用

速度可変シャッターを用いた軟X線多層膜の精密膜厚分布制御と非球面形状創成への応用
Paper図書
羽多野忠, 東北大学 [著][羽多野忠]2003-2004<Y151-H15560016>
National Diet Library
  • Subject Heading多層膜 / イオンビームスパッタリング / 膜厚制御 / イオン銃

安定化ジルコニアを用いる高温高圧水用完全固体型pHセンサーの試作

安定化ジルコニアを用いる高温高圧水用完全固体型pHセンサーの試作
Paper図書
原, 信義, 東北大学1994-1995<Y151-H06650791>
National Diet Library
  • Subject HeadingpHセンサー 高温高圧水 安定化ジルコニア 固体電解質 イオンビームスパツタリング Ni-NiO薄膜

リアルタイム分光エリプソメトリーによる反応性イオンエツチング機構の解析

リアルタイム分光エリプソメトリーによる反応性イオンエツチング機構の解析
Paper図書
杉本, 克久, 東北大学1995-1996<Y151-H07455284>
National Diet Library
  • Subject Heading反応性イオンエツチング リアルタイム分光エリプソメトリー マルチチヤンネル分光エリプソメータ イオンビームスパツタリング 膜厚 光学定数

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