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現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス 第2版

現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス 第2版
Paper図書
小島啓安 著日刊工業新聞社2015.2<ND371-L60>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Contents内容紹介：スパッタリングプロセスの第一人者がＱ＆Ａ方式で現場の疑問をわかりやす...
  • Subject Heading薄膜 スパッタリング
  • Authority（Subject Heading/altLabel）フィルム 半導体薄膜 スパッタリング技術 Thin films スパッタ スパッタリング法 スパッタ技術 Sputtering (Physics)

スパッタ実務「Q&A集」

スパッタ実務「Q&A集」
Paper図書
藤本登 企画編集技術情報協会2009.1<ND371-J60>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Subject Headingスパッタリング
  • Authority（Subject Heading/altLabel）スパッタ スパッタリング技術 スパッタリング法 スパッタ技術 Sputtering (Physics)

現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス

現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス
Paper図書
小島啓安 著日刊工業新聞社2008.8<ND371-J33>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Subject Heading薄膜 スパッタリング
  • Authority（Subject Heading/altLabel）フィルム 半導体薄膜 スパッタリング技術 Thin films スパッタ スパッタリング法 スパッタ技術 Sputtering (Physics)
  • Authority（Subject Heading/broader/narrower）膜 (工学) 金属薄膜 磁性薄膜 衝突 (原子物理学) プラスチックフィルム 表面 (工学) 光学薄膜 薄膜 透明導電膜 界面化学 スパッタリング

オプトエレクトロニクス分野を中心としたスパッタリング法による薄膜作製・制御技術

オプトエレクトロニクス分野を中心としたスパッタリング法による薄膜作製・制御技術
Paper図書
技術情報協会2006.10<ND416-H155>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Subject Headingオプトエレクトロニクス 薄膜 スパッタリング
  • Authority（Subject Heading/altLabel）光エレクトロニクス 半導体薄膜 スパッタリング技術 光電子工学 スパッタリング法 オプトロニクス Op......ィルム Thin films スパッタ スパッタ技術 Sputtering (Physics)
  • Authority（Subject Heading/broader/narrower）...ーザ 界面化学 ホログラフィ スパッタリング フォトニクス 膜 (工学)

超低摩擦係数アモルファスSiC薄膜の創製及び摩擦・はく離強度評価

超低摩擦係数アモルファスSiC薄膜の創製及び摩擦・はく離強度評価
Paper図書
加藤昌彦, 広島大学 [著][加藤昌彦]2006-2007<Y151-H18560134>
National Diet Library
  • Subject HeadingSiC / スパッタ / 摩擦・摩耗

次世代磁気記録媒体ナノ粒子薄膜の新規作製と特性制御

次世代磁気記録媒体ナノ粒子薄膜の新規作製と特性制御
Paper図書
石井清, 宇都宮大学 [著][石井清]2005-2006<Y151-H17560302>
National Diet Library
  • Subject Heading磁気記録媒体 / 垂直磁気記録 / スパッタ膜 / ガスフロースパッタ法

零温度特性を有する超精密薄膜抵抗材料の超高抵抗率化に関する研究

零温度特性を有する超精密薄膜抵抗材料の超高抵抗率化に関する研究
Paper図書
佐藤祐一, 秋田大学 [著][佐藤祐一]2004-2006<Y151-H16560267>
National Diet Library
  • Subject Heading薄膜 / スパッタリング / 抵抗

液体窒素温度成膜法による薄膜ヘッド用高飽和磁化軟磁性薄膜の開発

液体窒素温度成膜法による薄膜ヘッド用高飽和磁化軟磁性薄膜の開発
Paper図書
星陽一, 東京工芸大学 [著][星陽一]2001-2003<Y151-H13650357>
National Diet Library
  • Subject Headingスパッタ / 軟磁性薄膜 / 低電圧スパッタ / 高飽和磁化 / パルススパッタ / 低温成膜 / 純鉄膜 / Fe-Co合金

高耐熱B-C-X系硬質膜を用いた難削材の高効率加工に関する研究

高耐熱B-C-X系硬質膜を用いた難削材の高効率加工に関する研究
Paper図書
神崎昌郎, 東海大学 [著][神崎昌郎]2006-2007<Y151-H18560113>
National Diet Library
  • Subject Heading薄膜 / スパッタリング / ホウ素 / 炭素 / 切削加工

イオンスパッタリング金属膜による機械要素の疲労き裂発生の検知とき裂長さの測定

イオンスパッタリング金属膜による機械要素の疲労き裂発生の検知とき裂長さの測定
Paper図書
[トウ]鋼, 宮崎大学 [著][[トウ]鋼]2005-2006<Y151-H17560123>
National Diet Library
  • Subject Headingき裂長さ測定 / き裂検出 / イオンスパッタ膜

制限反応スパツタ製膜法による高誘電率YSZ絶縁膜の研究

制限反応スパツタ製膜法による高誘電率YSZ絶縁膜の研究
Paper図書
佐々木, 公洋, 金沢大学2001-2002<Y151-H13650338>
National Diet Library
  • Subject Heading制限反応スパツタ ZrO_2 高誘電率 金属モ-ドスパツタ ゲ-ト絶縁膜

ナノ構造制御による高効率硬X線反射多層膜の開発

ナノ構造制御による高効率硬X線反射多層膜の開発
Paper図書
大西直之, 中部大学 [著][大西直之]2006-2007<Y151-H18560117>
National Diet Library
  • Subject HeadingX線多層膜 / イオンビームスパッタ蒸着 / X線反射率

新規なコンビナトリアル・スパッタ成膜法を用いるEL素子用蛍光体薄膜の開発

新規なコンビナトリアル・スパッタ成膜法を用いるEL素子用蛍光体薄膜の開発
Paper図書
宮田俊弘, 金沢工業大学 [著][宮田俊弘]2006-2007<Y151-H18560704>
National Diet Library
  • Subject Heading薄膜 / EL素子 / コンビナトリアル / スパッタリング / 蛍光体

反応性スパッタ法による透明p型導電性三元酸化物の薄膜作製と評価

反応性スパッタ法による透明p型導電性三元酸化物の薄膜作製と評価
Paper図書
坪井望, 新潟大学 [著][坪井望]2004-2005<Y151-H16560270>
National Diet Library
  • Subject Headingデラフォサイト / CuAlO_2 / 透明導電性酸化物 / p形酸化物 / 薄膜 / 反応性スパッタ / スパッタ / レーザアニール

ナノ積層した酸素バリア性を有する多機能IZ0透明導電膜の成膜加工

ナノ積層した酸素バリア性を有する多機能IZ0透明導電膜の成膜加工
Paper図書
村上理一, 徳島大学 [著][村上理一]2005-2006<Y151-H17360051>
National Diet Library
  • Subject Heading透明導電膜 / ガスバリア膜 / 積層化 / スパッタリング

誘導結合プラズマ支援スパッタ法による透明導電性酸化亜鉛薄膜の作成

誘導結合プラズマ支援スパッタ法による透明導電性酸化亜鉛薄膜の作成
Paper図書
松田良信, 長崎大学 [著][松田良信]2005-2007<Y151-H17540472>
National Diet Library
  • Subject Heading誘導結合プラズマ / スパッタリング / 透明誘電膜 / 酸化亜鉛

粒子状磁気記録媒体薄膜作製のための完全熱化高ガス圧スパツタ技術の開発

粒子状磁気記録媒体薄膜作製のための完全熱化高ガス圧スパツタ技術の開発
Paper図書
石井, 清, 宇都宮大学1997-1998<Y151-H09650379>
National Diet Library
  • Subject Heading磁気記録媒体 コバルト薄膜 スパツタ法 スパツタ膜 ガスフロースパツタ法

プローブ不要で高い寸法・位置制御性をもつ一括近接場光ナノ加工法の研究

プローブ不要で高い寸法・位置制御性をもつ一括近接場光ナノ加工法の研究
Paper図書
大津元一, 東京大学 [著][大津元一]2004-2005<Y151-H16360028>
National Diet Library
  • Subject Heading近接場光 / 堆積 / 共鳴 / スパッタ / 蒸着 / 脱離

電気磁気効果を示す磁性酸化物薄膜を応用した電界駆動型磁気光学素子に関する研究

電気磁気効果を示す磁性酸化物薄膜を応用した電界駆動型磁気光学素子に関する研究
Paper図書
加島篤, 北九州工業高等専門学校 [著][加島篤]2005-2006<Y151-H17560297>
National Diet Library
  • Subject Heading磁性薄膜 / スパッタリング / 電気磁気効果 / MIS構造 / 誘電率

スパッタ薄膜 : 基礎と応用

スパッタ薄膜 : 基礎と応用
PaperDigital図書
小林春洋 著日刊工業新聞社1993.2<ND354-E48>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Subject Heading薄膜 スパッタリング
  • Authority（Subject Heading/altLabel）フィルム 半導体薄膜 スパッタリング技術 Thin films スパッタ スパッタリング法 スパッタ技術 Sputtering (Physics)
  • Authority（Subject Heading/broader/narrower）膜 (工学) 金属薄膜 磁性薄膜 衝突 (原子物理学) プラスチックフィルム 表面 (工学) 光学薄膜 薄膜 透明導電膜 界面化学 スパッタリング
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