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有機分子によるトリクロロシランの触媒的活性化法の開拓

有機分子によるトリクロロシランの触媒的活性化法の開拓
Paper図書
尾野村, 治, 長崎大学2000-2001<Y151-H12650855>
National Diet Library
  • Subject Headingトリクロロシラン イミン 選択的還元 アミン 高配位ケイ素 ケトン アルコー...

流動層粒子循環系を用いた多結晶シリコン製造プロセスの開発

流動層粒子循環系を用いた多結晶シリコン製造プロセスの開発
Paper図書
阿尻, 雅文, 東北大学1988-1990<Y151-S63850187>
National Diet Library
  • Subject HeadingCVD シリコン モノシラン 流動層 反応速度 トリクロロシラン

高温気相種分析用赤外分光器の開発とハロゲン化物への応物

高温気相種分析用赤外分光器の開発とハロゲン化物への応物
Paper図書
不破, 章雄, 早稲田大学1988-1990<Y151-S63550496>
National Diet Library
  • Subject Heading赤外分光分析 反応速度解析 シリコン 析出 反応機構 トリクロロシラン

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