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微細三次元加工形状の光逆散乱ナノインプロセス計測装置の開発

微細三次元加工形状の光逆散乱ナノインプロセス計測装置の開発
Paper図書
三好, 隆志, 大阪大学1999-2000<Y151-H11555043>
National Diet Library
  • Subject Heading逆散乱 位相回復 フーリエ変換 ナノインプロセス計測 微細形状計測 マイクロ加工計測 レーザー応用計測

ＥＲゲル保持機構を利用した半導体製造工程におけるウェハの真空中高速搬送技術の開発

ＥＲゲル保持機構を利用した半導体製造工程におけるウェハの真空中高速搬送技術の開発
Digital文書・図像類
青山, 藤詞郎, 柿沼, 康弘2011科学研究費補助金研究成果報告書
Other Libraries in Japan
  • Subject Heading精密位置決め,加工計測,半導体製造

拡張現実技術を用いた高密度板厚評価システムの開発

拡張現実技術を用いた高密度板厚評価システムの開発
Digital文書・図像類
浅川, 直紀, Asakawa, Naoki2012-05-14平成23(2011)年度 科学研究費補助金 基盤研究(C) 研究成果報告書 = 2011 Fiscal Year Final Research Report2009-2011p.4p.-
Other Libraries in Japan
  • Subject Heading精密位置決め 加工計測 産業用ロボット 板厚測定 拡張現実

圧電検出・駆動型ダイヤモンドマルチプロ-ブを搭載した次世代ナノ加工・計測システム

圧電検出・駆動型ダイヤモンドマルチプロ-ブを搭載した次世代ナノ加工・計測システム
Paper図書
柴田, 隆行, 茨城大学2001-2002<Y151-H13555068>
National Diet Library

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