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MEMS技術を用いたリレーやスイッチに適用するパワー用無放電電気接点の研究
MEMS技術を用いたリレーやスイッチに適用するパワー用無放電電気接点の研究
Paper
図書
若月昇, 石巻専修大学 [著]
[若月昇]
2005-2007
<Y151-H17560316>
National Diet Library
Subject Heading
電気接点 / MEMS / アーク放電 / 過渡電流スイッチ / リードスイッチ / Si単結晶
片持ち梁
/ クーロン静電力 / RIE技術
金属の陽極処理膜を利用した微小機械装置の研究
金属の陽極処理膜を利用した微小機械装置の研究
Paper
図書
佐藤, 洋一, 東海大学短期大学部
1995-1996
<Y151-H07805035>
National Diet Library
Subject Heading
マイクロマシン アルミニウム 陽極酸化 多孔質アルミナ
片持ち梁
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