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パラレル機構を用いたナノ構造マニピユレ-タの開発

パラレル機構を用いたナノ構造マニピユレ-タの開発
Paper図書
古谷, 克司, 豊田工業大学2001-2002<Y151-H13650289>
National Diet Library
  • Subject Headingパラレル機構 圧電素子 ナノテクノロジ- 粗微動機構 姿勢制御 直動機構 校正 ナノ加工

結晶格子の原子配列を基準とする超精密直動機構の開発と側長・位置決めへの応用

結晶格子の原子配列を基準とする超精密直動機構の開発と側長・位置決めへの応用
Paper図書
高田, 孝次, 長岡技術科学大学1998-1999<Y151-H10650109>
National Diet Library
  • Subject Heading走査型トンネル顕微鏡 結晶格子 直動機構 サブナノメートル トラツキング制御

超小型電極送り機構を用いたドットマトリクス方式による三次元形状創成加工法

超小型電極送り機構を用いたドットマトリクス方式による三次元形状創成加工法
Paper図書
毛利尚武, 豊田工業大学1994-1996<Y151-H06452196>
National Diet Library
  • Subject Heading放電加工 ラピツドプロトタイピング 三次元形状創成 直動機構 圧電素子

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