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シリコン融液/石英ガラスの界面反応制御に関する研究

シリコン融液/石英ガラスの界面反応制御に関する研究
Paper図書
黄新明, 東北大学 [著][黄新明]2005-2006<Y151-H17560003>
National Diet Library
  • Subject Heading結晶工学 / 結晶成長 / 石英るつぼ / 電場印加

シリコン融液/石英ガラス接触系における非平衡高温熱化学反応機構の解明に関する研究

シリコン融液/石英ガラス接触系における非平衡高温熱化学反応機構の解明に関する研究
Paper図書
干川, 圭吾, 信州大学2001-2002<Y151-H13450010>
National Diet Library
  • Subject Headingシリコン融液 石英るつぼ 高温熱化学反応 物質移動 ドロツプ法 計算解析 高濃度ゲル...

シリコン結晶成長系における高温熱化学反応と熱・物質移動現象

シリコン結晶成長系における高温熱化学反応と熱・物質移動現象
Paper図書
干川, 圭吾, 信州大学1999-2000<Y151-H11450009>
National Diet Library
  • Subject HeadingCZ-Si結晶 高温熱化学反応 熱・物質移動現象 石英るつぼ Si融液 SiOガス 成長界面 無転位結晶

シリコン引上単結晶酸素濃度分布(半径方向)のシミユレーシヨン

シリコン引上単結晶酸素濃度分布(半径方向)のシミユレーシヨン
Paper図書
菅原, 活郎, 日本大学1998-2000<Y151-H10650019>
National Diet Library
  • Subject Headingシリコン単結晶 シリコン融液内対流 シリコン融液・石英るつぼ反応 SiO蒸発 酸素偏析 差分法 有限要素法

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