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制限反応スパツタ製膜法による高誘電率YSZ絶縁膜の研究

制限反応スパツタ製膜法による高誘電率YSZ絶縁膜の研究
Paper図書
佐々木, 公洋, 金沢大学2001-2002<Y151-H13650338>
National Diet Library
  • Subject Heading制限反応スパツタ ZrO_2 高誘電率 金属モ-ドスパツタ ゲ-ト絶縁膜

酸化物の反応性スパツタリング過程に関する研究

酸化物の反応性スパツタリング過程に関する研究
Paper図書
松田, 良信, 長崎大学1999-2001<Y151-H11680488>
National Diet Library
  • Subject Heading反応性スパツタリング 酸化物薄膜 MgO 金属モード 酸化物モード ヒステリシス マグネトロン 二次電子放出係数

新しいスパツタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明

新しいスパツタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明
Paper図書
佐々木, 公洋, 金沢大学1997-1998<Y151-H09650349>
National Diet Library
  • Subject Headingスパツタリング PZT薄膜 金属モード 酸化物モード 同位体酸素 ZrTiターゲツト 金属・酸化物...

新しいスパッタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明

新しいスパッタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明
Digital文書・図像類
畑, 朋延, Hata, Tomonobu1999-12-07平成10(1998)年度 科学研究費補助金 基盤研究(C) 研究成果報告書概要 = 1998 Fiscal Year Final Research Report Summary1997 – 1998p.2p.-
Other Libraries in Japan
  • Subject Headingスパッタリング PZT薄膜 金属モード 酸化物モード 同位体酸素 ZrTr ターゲット 金属一酸化...
  • Note (General)...により膜中酸素の起源を調べた.金属モードでPZT薄膜を作製すると,膜中......究では、得られた結果を基に、準金属モードスパッタ堆積におけるターゲットの設計指針を与えいる。 Ori...

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